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GaN 반도체 장비는 마이크로웨이브 기술의 미래입니다.

무한한 잠재력을 지닌 RFHIC의 GaN 제품을 통해
마이크로웨이브 가열 및 플라즈마 생성을
효율적이고 친환경적인 방식으로 사용할 수 있습니다.

세부 분야

반도체 장비

RFHIC의 GaN 솔리드 스테이트 마이크로파 기술은 플라즈마 식각, 급속 열처리, 어닐링, 웨이퍼 건조, 마이크로파 화학 기상 증착, 이온 주입 등 다양한 반도체 장비 분야에 적용될 수 있는 다목적 기술입니다. 이 기술은 더 높은 전력 효율, 우수한 열 관리, 그리고 더 큰 신뢰성 등 여러 잠재적인 장점을 제공합니다.
세부 분야

폐기물 가스화
및 메탄 열분해

마이크로파를 활용한 가스화는 낮은 온도에서 효율적인 폐기물 처리를 가능하게 하여 환경 영향과 에너지 사용을 줄여줍니다. 또한 GaN 솔리드 스테이트 마이크로파는 메탄 열분해에도 적용되어 마이크로파 가열 및 탄소 분해와 같은 방식으로 더 높은 에너지 효율을 제공합니다. RFHIC의 GaN 솔리드 스테이트 마이크로파 솔루션은 이러한 공정에서 혁신을 촉진합니다.
세부 분야

플라즈마 생성
및 처리

플라즈마 생성은 반도체 및 전자 산업에서 코팅을 위한 플라즈마 화학 기상 증착(PACVD)에 필수적인 역할을 합니다. 또한 GaN 솔리드 스테이트 마이크로파 솔루션은 유해 물질 분해를 위한 플라즈마 폐기물 처리에도 기여합니다.
세부 분야

재료 가공 및 소결

마이크로파 재료 가공 및 소결은 고출력 GaN 솔리드 스테이트 마이크로파를 통해 빠른 가열을 가능하게 하여 처리 시간과 에너지 소비를 줄여줍니다. RFHIC의 솔루션은 높은 효율성과 정밀성을 제공해 첨단 세라믹 및 금속 부품을 생산하는 산업에 이상적입니다. 이를 통해 산업용 재료를 효과적으로 가공하고 처리할 수 있습니다.
세부 분야

마이크로파 기반
화학 반응

GaN 솔리드 스테이트 고출력 마이크로파로 구동되는 마이크로파 기반 화학 반응은 낮은 온도와 압력에서 더 효율적인 반응을 가능하게 하여 화학 및 제약 산업에서 에너지 효율을 높입니다. RFHIC의 GaN 솔리드 스테이트 마이크로파 기술은 이러한 산업에서 혁신을 촉진하고 공정 최적화를 위한 이상적인 솔루션입니다.
세부 분야

산업용 가열을 위한 에너지 시스템

마이크로파 기반 에너지 시스템은 식품, 섬유, 고무 산업의 건조, 예열, 경화 공정에 사용되며, 농업 해충 방제에도 기여합니다. RFHIC의 GaN 솔리드 스테이트 마이크로파 솔루션은 다양한 산업 가열 응용 분야에서 효율성과 혁신을 향상시킵니다
세부 분야

입자 가속기

RFHIC의 갈륨 나이트라이드(GaN) 솔리드 스테이트 마이크로파 솔루션은 입자 가속기, 양성자 가속기, 전자 가속기, 선형 가속기, 중에너지 빔 전송(MEBT), 선형 충돌기(IHC) 등 다양한 가속기 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 기존의 진공관(TWTAs, 클라이스트론, 마그네트론)을 완벽하게 대체할 수 있는 솔루션입니다.
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